1. Tīrība
Izsmidzināšanas mērķa tīrībai jābūt vismaz 99,95 procentiem. Jo augstāka ir tīrības pakāpe, jo labāka ir izsmidzinātās plēves veiktspēja.
2. Blīvums
Izsmidzināšanas mērķa relatīvajam blīvumam jābūt lielākam par 98 procentiem. Mērķis ar lielāku blīvumu var samazināt plēves daļiņu izšļakstīšanos pārklāšanas procesā, tādējādi uzlabojot plēves kvalitāti.
3. Graudu struktūra
Molibdēns izsmidzināšanas mērķis ir polikristāliska struktūra. Izsmidzināšanas laikā mērķa atomi tiek viegli izsmidzināti pa sešstūra atomu visciešāk sakārtoto virzienu. Lai sasniegtu maksimālo izsmidzināšanas ātrumu, ir nepieciešams palielināt izsmidzināšanas ātrumu, mainot mērķa kristālisko struktūru.
4. Graudu lielums
Graudu izmērs var būt no mikroniem līdz milimetriem. Mērķa izsmidzināšanas ātrums ar smalkiem graudiem ir ātrāks nekā mērķa ar rupjiem graudiem, un arī nogulsnētās plēves biezuma sadalījums ir salīdzinoši vienmērīgs mērķim ar nelielu graudu izmēra atšķirību.
5. Mērķa un šasijas iesiešana
Pirms izsmidzināšanas mērķim jābūt savienotam ar skābekli nesaturošu vara šasiju, lai nodrošinātu labu siltuma vadītspēju starp mērķi un šasiju. Pēc saistīšanas jāveic ultraskaņas pārbaude, lai nodrošinātu, ka abu nesaistošais laukums ir mazāks par 2 procentiem, lai atbilstu lieljaudas izsmidzināšanas prasībām.
